薄膜应力测试仪
[ 基础信息 ]
生产国家 : 日本
制造厂商 : 日本
购置日期 : 1970-01-01
规格型号 : FLX-2320S
[ 分类信息 ]
设备类型 :
设备编号 : S2505759
[ 联系信息 ]
联系人 : 朱丽萍
存放地址 : N505
联系电话 :
联系邮箱 :
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
系统内置升温、降温模拟系统，便于量测不同温度下薄膜的应力，温度调节范围为-65℃至500℃
主要功能及特色 :
采用双光源非接触式激光技术，对薄膜的拉应力（tensile）、压应力（compressive）、表面弓高变化的扫描。并可以通过扫描，得到应力的mapping数据/分布图。
主要规格及技术指标 :
配置可自动转换的双激光光源，波长为670nm和780nm激光光源
